另一個電容式MEMS加速度傳感器固有的問題是在受到巨大沖擊的時候，其整體結(jié)構(gòu)會發(fā)生微小的形變，但也足以導(dǎo)致一顆完成校準(zhǔn)的器件的零點輸出發(fā)生漂移，進而導(dǎo)致校準(zhǔn)失效。
相比之下，熱式MEMS加速度傳感器可以起到類似前級低通濾波器的作用，極大的降低震動和沖擊對其的影響。
美新’ MXC6244AU 3x3x1.2mm (L x W x H) – 抗震動，高可靠性
美新的MXC6244AU傳感器的帶帶寬為10Hz/-3db的帶寬且信號處理電路具有二級濾波功能，能夠提供出色的低通濾波響應(yīng)。因此，其本身就可以提供非常出色的傾角測量精度而無須占用過多的處理器計算能力。
電容式MEMS加速度傳感器通常需要兩顆芯片，一顆傳感器芯片和一顆信號處理芯片。通常來說，傳感器芯片的面積比信號處理芯片大非常多。熱式MEMS加速度傳感器將傳感器和信號處理芯片整合在同一顆芯片上，因此實現(xiàn)更小的尺寸和更高可靠性的解決方案。
因為美新MEMS傳感器沒有移動部件，所以有很強的抗沖擊力和穩(wěn)定性。
電容式MEMS加速度傳感器具有低功耗的優(yōu)點，比較適用于那些要求嚴(yán)格控制功耗的應(yīng)用場景。熱式MEMS傳感器的功耗通常為3毫瓦而電容式的功耗僅為其的1/10。這主要是熱式傳感器需要消耗一定的能量，在其內(nèi)部對氣體進行加熱，產(chǎn)生溫度場來測量加速度。電容式MEMS加速度傳感器也適用于那些要求高頻率(>100Hz)和高g值得應(yīng)用，例如，防撞氣囊在汽車碰撞開啟。其較寬的帶寬，較高的頻率和加速度的這些特性更好的滿足了該類應(yīng)用的需求。
集合了單芯片集成技術(shù)和非可移動結(jié)構(gòu)部件這個優(yōu)點的熱式MEMS傳感器使其在高強度震動環(huán)境能夠提供較高的可靠性和較精確的測量結(jié)果?；跓崾組EMS技術(shù)的美新產(chǎn)品MXC6244AU不受共振，震動影響，沒有溫度遲滯效應(yīng)，能夠經(jīng)受50000g的沖擊，零點輸出穩(wěn)定，所有這些優(yōu)點成就了非常高的可靠性。
所以熱式MEMS加速度傳感器更適用于在高強度環(huán)境中對低g值(<10g)及和低頻率(<30Hz)的加速度進行測量。
總的來說，熱式MEMS加速度傳感器是非常適合于在高強度震動環(huán)境中測量傾角。其天然的低通濾波和不受共振影響的特性使其能夠在電容式MEMS加速度傳感器無法進行測量的應(yīng)用中仍然提供精確的傾角測量結(jié)果。其獨有的單芯片集成技術(shù)以及無須可動結(jié)構(gòu)的設(shè)計使其在特定的環(huán)境中能夠提供行業(yè)最高等級的可靠性。