KAYEX公司在單晶生長(zhǎng)領(lǐng)域具有獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和40多年的成功的經(jīng)驗(yàn),全球超過(guò)2000臺(tái)的單晶爐安裝量,是世界上三個(gè)擁有16英寸單晶硅棒設(shè)備制造能力的公司之一。來(lái)自美國(guó)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)在介紹KAYEX的晶體生長(zhǎng)爐時(shí),特意強(qiáng)調(diào),F(xiàn)EMAG軟件在他們的爐體設(shè)計(jì)、熱場(chǎng)設(shè)計(jì)中發(fā)揮了非常重要的作用。
FEMAG是全球半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)模擬最著名的商業(yè)軟件,依托于中仿科技研發(fā)中心的創(chuàng)新性研發(fā),融合了比利時(shí)FEMAG SA.公司全球領(lǐng)先的技術(shù),中仿科技公司對(duì)于FEMAG軟件完全擁有中國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和技術(shù)專利。FEMAG軟件耦合了晶體生長(zhǎng)過(guò)程中所有重要物理現(xiàn)象,包括輻射傳熱、導(dǎo)熱傳熱及對(duì)流傳熱,并耦合了各種電磁場(chǎng)對(duì)晶體生長(zhǎng)過(guò)程傳熱、對(duì)流的影響??赡M各種晶體生長(zhǎng)工藝,包括提拉法(Cz)、泡生法(Ky)、區(qū)熔法(FZ)、垂直布里奇曼法(VB)、垂直梯度凝固法 (VGF)、定向凝固法(DS)、熱交換法(HEM)以及物理氣相傳輸法(PVT)等。
FEMAG軟件在單晶硅、多晶硅和單晶鍺生長(zhǎng)模擬方面的優(yōu)勢(shì),幫助KAYEX公司優(yōu)化晶體生長(zhǎng)工藝、先進(jìn)熱場(chǎng)開發(fā),實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本最小化。在本次SEMICON China 2015展會(huì)上,F(xiàn)EMAG助推KAYEX成為單晶爐廠商中最耀眼的明星。