智能傳感器的關(guān)鍵技術(shù)
智能傳感器在硬件制造方面的關(guān)鍵技術(shù)主要有：
● 智能傳感器模塊中各芯片的設(shè)計(jì)技術(shù)。設(shè)計(jì)必須滿足小型化、低成本、低功耗、抗干擾、靈活性要求，利用Ansys和MSC.Patran、MSC.Marc、MSC.Fatigue軟件進(jìn)行芯片設(shè)計(jì)和仿真。需建立數(shù)學(xué)模型、線路設(shè)計(jì)、可靠性設(shè)計(jì)等工作。
● 智能傳感器的制備工藝技術(shù)。需突破MEMS工藝與集成電路IC工藝的相容性技術(shù)，智能傳感器的小型化封裝技術(shù)，智能傳感器規(guī)模化生產(chǎn)技術(shù)等。
● 智能傳感器的可靠性技術(shù)。目前國產(chǎn)傳感器最大問題是產(chǎn)品可靠性不高，直接影響傳感器應(yīng)用，可靠性性設(shè)計(jì)、可靠性試驗(yàn)、可靠性篩選、可靠性管理這些技術(shù)問題必須貫穿產(chǎn)品制備始終。
● 智能傳感器接口技術(shù)，特別是與外部網(wǎng)絡(luò)的接口。